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结构	编号	化学名称	Cas号
	KY135894	Trichlorosilane	10025-78-2
	KY135895	Tetrachlorosilane	10026-04-7
	KY135896	Methyltrichlorosilane	75-79-6
	KY135897	Dichlorodimethylsilane	75-78-5
	KY135899	Octamethylcyclotetrasiloxane	556-67-2
	KY135900	Decamethylcyclopentasiloxane	541-02-6
	KY135902	Dichloromethylsilane	75-54-7
	KY135903	Trichloropropylsilane	141-57-1
	KY135904	n-octyltrichlorosilane	5283-66-9